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[질문] MEMS의뜻?

조회수 177 | 2008.03.19 | 문서번호: 2857270
전체 답변:
[지식맨]  2008.03.19

MEMS(Microelectromechanical Systems의 약어)는 미세 기술로서 기계 부품, 센서, 액츄에이터, 전자회로를 하나의 실리콘 기판 위에 집적화 한 장치를 가리킨다.

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