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[질문] 확산이 진공에서도일어나나요?

조회수 176 | 2007.10.09 | 문서번호: 1010926
전체 답변:
[지식맨]  2007.10.09

확산펌프에서고진공시역류가일어나면챔버쪽으로역류되어백스트림이라고 하고챔버를오염시킵니다

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